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解决方案

3C电子行业 汽摩五金行业 太阳能光伏产业 ITO,晶圆微电子 面板显示行业 生物医疗科技

方案概况

ITO,晶圆微电子

晶圆划片:是经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构,

再经切割、封装、测试成为芯片,广泛应用到各类电子设备当中。也半导体芯片制造工艺流程中的一道必不可少的工序,

将做好芯片的整片晶圆按芯片大小分割成单一的芯片(晶粒),称之为晶圆划片。

在晶圆划片行业,一个是传统划片具有以下特点:

● 刀片划片直接作用于晶圆表面,在晶体内部产生损伤,容易产生晶圆崩边及晶片破损;

● 刀片具有所的厚度,导致刀具的划片线宽较大;

● 耗材大,刀片需每半个月更换一次;

● 环境污染大,切割后的硅粉水难处理。

而激光划片属于非接触式加工,可以避免以上情况的发生。


典型应用

精密打标 PRECISION MARKING

手机外壳打标、面板玻璃打标、充电器精密打标、耳机线缆精密标记

精密切割 PRECISION CUTTING

FPC/PCB切割、手机主板切割、摄像头模组切割、强化玻璃切割、蓝宝石切割

精密焊接 PRECISION WELDING

FPC焊接、IC精密焊接、VC马达焊接

精密钻孔 PRECISION DRILLING

听筒麦克风激光打孔、HDI钻孔、柔性电路板导通孔、玻璃钻孔、陶瓷钻孔

精密刻蚀 PRECISION ETCHING

LDS手机天线刻蚀

激光具有在聚焦点可小到亚微米数量级的优势, 从而对晶圆的微处理更具精细缜密, 可以进行小部件的加工。

即使在不高的脉冲能量水平下, 也能得到较高的能量密度, 有效地进行材料加工。

应用于半导体制造行业单、双台面玻璃钝化二极管晶圆;单、双台面可控硅晶圆;IC晶圆切割等半导体晶圆片的切割划片。

激光划片速度快,高达150mm/s

客户收益

1.激光切割/划片采用的高光束质量的光纤激光器对芯片的电性影响小,可提高的划片成品率;

2.可以对不同厚度的晶圆进行作业,具有更好的兼容性和通用性;

3.可以切割一些较复杂的晶圆芯片,如六边形管芯等;

4.不需要去离子水,不存在刀具磨损问题,并可连续24小时作业。 


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