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晶圆划片:是经过一系列半导体制造工艺形成极微小的电路结构,
再经切割、封装、测试成为芯片,广泛应用到各类电子设备当中。也半导体芯片制造工艺流程中的一道必不可少的工序,
将做好芯片的整片晶圆按芯片大小分割成单一的芯片(晶粒),称之为晶圆划片。
在晶圆划片行业,一个是传统划片具有以下特点:
● 刀片划片直接作用于晶圆表面,在晶体内部产生损伤,容易产生晶圆崩边及晶片破损;
● 刀片具有所的厚度,导致刀具的划片线宽较大;
● 耗材大,刀片需每半个月更换一次;
● 环境污染大,切割后的硅粉水难处理。
而激光划片属于非接触式加工,可以避免以上情况的发生。
精密打标 PRECISION MARKING
精密切割 PRECISION CUTTING
精密焊接 PRECISION WELDING
精密钻孔 PRECISION DRILLING
精密刻蚀 PRECISION ETCHING
激光具有在聚焦点可小到亚微米数量级的优势, 从而对晶圆的微处理更具精细缜密, 可以进行小部件的加工。
即使在不高的脉冲能量水平下, 也能得到较高的能量密度, 有效地进行材料加工。
应用于半导体制造行业单、双台面玻璃钝化二极管晶圆;单、双台面可控硅晶圆;IC晶圆切割等半导体晶圆片的切割划片。
激光划片速度快,高达150mm/s
1.激光切割/划片采用的高光束质量的光纤激光器对芯片的电性影响小,可提高的划片成品率;
2.可以对不同厚度的晶圆进行作业,具有更好的兼容性和通用性;
3.可以切割一些较复杂的晶圆芯片,如六边形管芯等;
4.不需要去离子水,不存在刀具磨损问题,并可连续24小时作业。
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