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设备应用于各类玻璃晶圆及玻璃中介板的激光诱导钻孔
设备特点:
• 行业专用定制型 超快皮秒/飞秒激光器
• 模块化光路密封设计,高稳定性光路传输结构
• 精细长焦深沉丝切割头,CCD视觉影像定位
• 高精度高速度飞机钻孔直线电机运动平台
• 业内顶级高精度高速度运动控制系统
• 大理石+专业平台减震模块
• 兼容激光高速飞行钻孔和玻璃异形切割功能
• 优异的失量图形读取与处理能力,瞬间处理超大图形
• 集成4种以上激光飞行钻孔及切割路径优化算法
• 可选配上下料方式、Z轴高度跟随、AOI检测及可对接MES系统
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